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中美芯片冲突的关键机器：光刻机
美国宣布了限制芯片制造设备销售的新规，这些设备对中国发展先进半导体工业的努力至关重要。
这些设备从外表看是光滑的白色箱子，体积与大型货
车相当，如今，它们是美中技术冲突的要害所在。随着美
国试图减缓中国在可能有助于提高其军事能力的技术方面
取得进步，将错综复杂的电路印到计算机芯片上的复杂光
刻机已成了一个关键的钳制点。
虽然这些光刻机是中国发展本国芯片制造业的重要组
成部分，但中国尚不具备制造它们的技术，至少不具备制
造最先进光刻机的技术。美国官员上周采取了限制中国实
现半导体制造目标的步骤，禁止全球的公司向中国出口更
多类型的芯片制造机器，除非得到美国政府的特别许可。
此举可能给中国的芯片制造雄心带来重大打击。这也
是美国对其监管权力不同寻常地使用。美国官员认为，只
要在美国境外制造的设备上有一个美国制造的零件的话，
他们就能对其进行监管。
这项决定让美国官员对荷兰和日本的公司有了新的控
制力，一些最先进的芯片制造设备正是来自这两个国家。
具体来说，美国的规定将导致一些使用深紫外技术的设备
无法运往中国，该技术主要由光刻机市场占主导地位的荷
兰公司ASML制造。
荷兰智库克林亨达尔国际关系研究所的中国问题研究
员何森璱(Vera Kranenburg)表示，虽然ASML已明确表
示将遵守这些规定，但美国此前禁止其向中国出口更先进
光刻机的规定已经令它感到恼火。
“他们当然对这些出口管制不满，”她说。
再次被卷入地缘政治之后，ASML在回应的时候始终
保持着谨慎，公司上周在一份声明中表示，遵守业务所在
国的所有法律法规。首席执行官彼得·温宁克称，公司将
无法再把某些工具运往“少数”中国芯片工厂。但他补充
说，“我们2023年卖出去的设备仍将发货，只是2024年我
们不能再卖了。”
荷兰外贸与发展合作大臣莉谢·施赖纳马赫在一份声
第 1414 期 2023 年 10 月 27 日 星期五
明中表示，荷兰与美国有同样的安全担忧，并在不断与美
国交换信息，但“最终，每个国家将自行决定采取哪些出
口限制措施”。她指出，荷兰政府已在今年6月宣布了更宽
松的措施。
美国商务部发言人拒绝就本文置评。
ASML的技术让全球计算能力实现了飞跃。ASML光
刻机有数万个零部件，每台售价高达数亿美元，光刻精度
的不断提高使得芯片上的电路越来越小，从而让芯片制造
商能将更多的计算能力集成到一个微小的硅片上去。
随着各国政府竞相把技术成果转化为军事优势，光刻
技术也成了美国及其盟友对中国施加影响的重要杠杆。尽
管中国政府正在向半导体行业注入大量资金，但它的芯片
制造设备在技术上仍比ASML和其他主要设备供应商落后很
多年，这些供应商包括美国的应用材料公司和泛林集团，
以及日本的东京电子和佳能。
但美国将这种技术优势武器化以对抗中国的努力看来
正在让盟友关系变得紧张。欧洲国家的政府官员越来越同
意美国认为中国构成地缘政治和经济威胁的观点。但他们
仍担心，不让本国的公司进入中国这个全球最大、最有活
力的技术市场之一，会损害这些企业的利益。
尤其是处于美国多年施压行动焦点的荷兰技术。特朗
普政府在2019年说服荷兰，不允许ASML将使用极紫外技
术的最先进光刻机卖给中国。
在拜登政府施加了几个月的外交压力后，荷兰和日本
的政府在今年1月同意，两国也将单独限制向中国销售某些
深紫外光刻机和其他类型的先进芯片制造设备。
美国及其盟友曾认为，深紫外光刻机的销售给国家安
全带来的风险较小。这种光刻机制造的芯片与最尖端光刻
机制造的用于最新智能手机、超级计算机和驱动人工智能
的芯片有相当大的差距。
但这个观念在今年夏天受到了考验。一家中国公司用
ASML的深紫外光刻技术和其他先进设备突破了一个技术障
碍，美国官员曾认为中国做不到这点。
今年8月，中国电信设备巨头华为出人意料地发布了
一款新智能手机，手机使用了中国制造的7纳米芯片，在技
术上只比台湾制造的最先进芯片落后两代。分析人士得出
的结论是，中国的中芯国际使用荷兰的深紫外光刻机造出
了7纳米芯片。
华盛顿智库战略与国际研究中心的技术专家格雷戈里
·艾伦说，新的出口管制规定早在华为推出新手机前就已
在酝酿之中。但他说，这一进展“帮助美国政府各个部门
的领导人认识到，没有更多可浪费的时间了，迫切需要更
新出口管制措施”。
艾伦说，出口管制措施不一定会马上摧毁中国最先进
的芯片制造商，因为它们已经储备了大量的先进设备。但
他说，新措施将“极大地限制”他们制造最先进半导体的
能力，比如7纳米芯片。
从目前来看，ASML与中国的业务仍然红火。它在本
周的财报中表示，第三季度在华销售额猛增，占到了公司
全球总销售额的46%，远高于历史水平。
据TD Cowen的分析师估计，今年ASML在华销售额
将达到55亿欧元（约合58亿美元），是去年总销售额的两
倍多。他们预计，新的出口管制出台后，公司明年来自中
国市场的收入可能会减少10%到15%。
ASML首席财务官罗杰·达森在财报电话会议上说，
公司今年完成的大部分订单都是2022年甚至前一年下的，
而且主要是用于生产稍微更老类型芯片的机器。
所有发货“完全没有超出出口监管的范围”，达森说
。
对受美国新出口管制限制的机器来说，ASML今后将
被禁止提供替换零件或帮助维修系统。这将意味着，中国
企业可能会在某个时候出现制造问题。
这些极其昂贵的机器继续生产芯片需要定期更新软件
和维修支持，市场研究公司集邦咨询的半导体产业分析师
乔安(Joanne Chiao)说。
ASML并不是受最新限制影响的唯一设备供应商。生
产最先进芯片所必需的其他类型的先进设备，比如美国的
应用材料公司和泛林集团的设备，也详细地列在最新限制
中。
泛林在周三的电话会议上表示，由于中国企业储备用
于制造成熟芯片和先进产品的设备，泛林今年第一财季来
自中国的营收增长了48%。公司此前曾估计，对华销售限
制将导致公司今年的收入减少20亿美元；高管们补充说，
上周发布的新规定不会让这个估计发生实质性的改变。
应用材料公司的发言人表示，公司仍在仔细研究新规
定，以评估可能的影响。